西安光機所瞬態(tài)光學(xué)與光子國家重點實驗室科研人員在討論科研進展。

西安光機所瞬態(tài)光學(xué)與光子國家重點實驗室科研人員在進行實驗測試。

■ “十四五”期間，陜西將圍繞能源化工、裝備制造、新材料、光子、種業(yè)工程等陜西優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)，以及對未來產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重大影響的前瞻技術(shù)領(lǐng)域，啟動建設(shè)20家左右共性技術(shù)研發(fā)平臺。

■ 陜西省共性技術(shù)研發(fā)平臺立足于開展行業(yè)共性技術(shù)研發(fā)與應(yīng)用，以關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)、科研成果中試、產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新為核心使命，為陜西省高質(zhì)量發(fā)展提供源頭技術(shù)供給。

■ 陜西省共性技術(shù)研發(fā)平臺建設(shè)根據(jù)相關(guān)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域發(fā)展特點和實際，有效統(tǒng)籌重點實驗室、工程技術(shù)研究中心、龍頭骨干企業(yè)、高校院所等優(yōu)質(zhì)創(chuàng)新平臺資源，成熟一家、啟動一家。

■ 今年3月30日，在秦創(chuàng)原創(chuàng)新驅(qū)動平臺建設(shè)大會上，我省啟動了先進稀有金屬材料、光子產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體與集成電路、高檔數(shù)控機床等首批4個共性技術(shù)研發(fā)平臺建設(shè)工作。經(jīng)過半年多的發(fā)展，目前，各平臺建設(shè)進入快車道，在共性技術(shù)研發(fā)、行業(yè)開放共享、企業(yè)孵化培育、人才引進培養(yǎng)、體制機制創(chuàng)新等方面開展了一系列探索，并取得突破。

攻關(guān)，突破共性技術(shù)

陜西在半導(dǎo)體與集成電路領(lǐng)域不僅具有突出的研發(fā)實力，還有較好的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)。其中，以碳化硅、氮化鎵為代表的寬禁帶半導(dǎo)體材料，被稱為第三代半導(dǎo)體材料，是支撐信息、能源、交通、先進制造、國防等領(lǐng)域發(fā)展的重點新材料，是國際研究前沿和競爭焦點。

為彌補實驗室成果向工業(yè)化量產(chǎn)推進的短板，陜西省半導(dǎo)體與集成電路共性技術(shù)研發(fā)平臺牽頭單位陜西半導(dǎo)體先導(dǎo)技術(shù)中心加快碳化硅、氮化鎵兩條研發(fā)中試線的建設(shè)。目前，碳化硅中試平臺搭建已經(jīng)初步完成，并成功研發(fā)出650—3300伏碳化硅器件，其中多款產(chǎn)品填補了國內(nèi)空白，部分型號已實現(xiàn)量產(chǎn)。

隨著這兩條中試線的投入使用，陜西也將加快實現(xiàn)寬禁帶半導(dǎo)體芯片完整中試工藝能力，加速突破寬禁帶半導(dǎo)體先進制造瓶頸，加快建設(shè)具有世界一流水平的寬禁帶半導(dǎo)體創(chuàng)新中心。

啟動建設(shè)以來，首批共性技術(shù)研發(fā)平臺在攻克關(guān)鍵技術(shù)、服務(wù)共性需求上，均取得了成績：秦川機床（西安）技術(shù)研究院以共性技術(shù)研發(fā)平臺為依托，聯(lián)合行業(yè)高精度、形狀復(fù)雜零件加工單位，研制的高速立式加工設(shè)備，突破了高加速度機床共性技術(shù)難題，滿足了國產(chǎn)機床高速、高精度的加工需求；陜西追光光子產(chǎn)業(yè)先導(dǎo)創(chuàng)新中心完成LED芯片制造工藝線搭建，為行業(yè)提供光刻、刻蝕、激光劃片等全線工藝共性服務(wù)；西安稀有金屬材料研究院攻克了大規(guī)格新型耐蝕鈦合金鑄錠的工業(yè)規(guī)模制備技術(shù)、大口徑管材的成型技術(shù)和高質(zhì)量冷拉焊絲工業(yè)化制備技術(shù)，完成了我國重大工程關(guān)鍵設(shè)備所需的多品種、多規(guī)格新型耐蝕鈦材的制備任務(wù)。

推動關(guān)鍵共性技術(shù)突破，為高質(zhì)量發(fā)展注入源源動力成為共識。今年以來，省科技廳先后發(fā)布了兩批“兩鏈”融合重點專項“揭榜掛帥”課題榜單。聚焦秦創(chuàng)原創(chuàng)新資源，省科技廳啟動部署了機床、新材料、半導(dǎo)體集成電路、新能源等“兩鏈”融合重點專項。榜單課題皆為我省重點優(yōu)勢行業(yè)的關(guān)鍵共性技術(shù)需求。

制定“揭榜掛帥”“創(chuàng)新聯(lián)合體”“共性技術(shù)研發(fā)平臺”等工作指引，支持在秦創(chuàng)原先行先試，是省科技廳加強核心技術(shù)攻關(guān)，推動“兩鏈”融合的重要舉措。“我們將繼續(xù)加大力度支持高校、院所和企業(yè)在秦創(chuàng)原窗口區(qū)組建創(chuàng)新聯(lián)合體，聯(lián)合建設(shè)共性技術(shù)研發(fā)平臺，聚焦產(chǎn)業(yè)鏈、供應(yīng)鏈關(guān)鍵核心技術(shù)，開展研發(fā)攻關(guān)與創(chuàng)新突破，提升產(chǎn)業(yè)鏈競爭力。”省科技廳廳長孫科表示。

共享，賦能產(chǎn)業(yè)發(fā)展

光子產(chǎn)業(yè)被認為是21世紀具有巨大潛力的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。

陜西擁有西安光機所、西安交通大學(xué)、西安電子科技大學(xué)、空軍工程大學(xué)、西北工業(yè)大學(xué)等一批光子學(xué)科健全、特色鮮明的高校院所，孵化出了以炬光科技、中科微精、奇芯光電、唐晶量子等為代表的一批國內(nèi)領(lǐng)先企業(yè)，產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速。但是，光子產(chǎn)業(yè)重點環(huán)節(jié)仍存在“卡脖子”瓶頸，亟待突破。

在中科院西安分院院長、中科院“大規(guī)模光子集成芯片”戰(zhàn)略科技先導(dǎo)B專項首席科學(xué)家趙衛(wèi)看來，建立我省的光子共性技術(shù)研發(fā)平臺，通過靈活有效的協(xié)同創(chuàng)新，開展產(chǎn)業(yè)前沿技術(shù)研究與共性關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)，是突破瓶頸的重要出路。

5月13日，陜西省光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)合體成立。陜西省光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)合體是根據(jù)省委、省政府關(guān)于推進光子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的系列工作部署，由陜西省科學(xué)院整合光子產(chǎn)業(yè)相關(guān)企業(yè)，聯(lián)合西安光機所和西安交通大學(xué)等省內(nèi)光子技術(shù)優(yōu)勢創(chuàng)新單位組建而成。“陜西省光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)合體將開展對光子產(chǎn)業(yè)的頂層設(shè)計、統(tǒng)一規(guī)劃和整體部署，打造‘政產(chǎn)學(xué)研’多方融合的光子技術(shù)與產(chǎn)業(yè)新型研發(fā)機構(gòu)，推動陜西光子產(chǎn)業(yè)‘政產(chǎn)學(xué)研’各主體戰(zhàn)略思想統(tǒng)一、戰(zhàn)略部署協(xié)同、戰(zhàn)略任務(wù)聯(lián)動。”趙衛(wèi)介紹。

頂層設(shè)計、整體部署、協(xié)同發(fā)展是共性技術(shù)研發(fā)平臺的核心。陜西半導(dǎo)體先導(dǎo)技術(shù)中心搭建公共測試服務(wù)平臺，建立集成電路測試、功率器件測試、射頻器件測試、電子元器件失效分析和DPA等功能，開展行業(yè)五大類公共測試和服務(wù)，整合省內(nèi)重要測試單位，為企業(yè)提供集成電路測試服務(wù)上百次，提升了現(xiàn)有測試資源利用率，實現(xiàn)“一站式”測試服務(wù)能力；秦川機床（西安）技術(shù)研究院在機床行業(yè)可靠性技術(shù)研究領(lǐng)域取得突破，并得到推廣應(yīng)用，建立為行業(yè)服務(wù)的“機床醫(yī)院”和機床技術(shù)診斷與質(zhì)量評價體系，開展可靠性設(shè)計技術(shù)、主要零部件綜合性能與可靠性評估，提升機床行業(yè)整體技術(shù)水平；西安稀有金屬材料研究院利用臺式掃描電鏡、離子減薄儀、摩擦磨損試驗儀等檢測設(shè)備，開展金屬材料行業(yè)檢測服務(wù)，建成分析測試中心、腐蝕評價中心和高性能計算中心，為金屬材料行業(yè)的檢測評價提供實驗條件。

培育，強化內(nèi)生動力

在秦創(chuàng)原共性技術(shù)研發(fā)平臺的帶動下，先進稀有金屬材料、光子產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體與集成電路、高檔數(shù)控機床領(lǐng)域潛力不斷釋放：

今年6月，西北有色金屬研究院控股的西安凱立新材料股份有限公司在上交所科創(chuàng)板成功上市。西北有色金屬研究院是陜西省先進稀有金屬材料共性技術(shù)研發(fā)平臺牽頭單位，依托西安稀有金屬材料研究院集聚整合相關(guān)科研力量和創(chuàng)新資源，帶動上下游優(yōu)勢企業(yè)、高校院所共同參與，推動先進稀有金屬材料技術(shù)研發(fā)與成果轉(zhuǎn)化邁上新臺階，走向高質(zhì)量發(fā)展。

11月1日，萊特光電成功通過科創(chuàng)板2021年第80次上市委員會審議會議。這是繼今年9月炬光科技首發(fā)過會科創(chuàng)板后，光子產(chǎn)業(yè)鏈誕生的又一家科創(chuàng)板企業(yè)。截至目前，陜西已有100余家光子技術(shù)企業(yè)，形成了光子制造、光子信息、光子傳感、生物光子等幾大產(chǎn)業(yè)集群，會聚了一批全球光子產(chǎn)業(yè)領(lǐng)軍人才。陜西光子產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢資源不斷集聚，產(chǎn)業(yè)集群初具規(guī)模，預(yù)計到2023年，將實現(xiàn)千億級產(chǎn)業(yè)規(guī)模目標。

陜西半導(dǎo)體先導(dǎo)技術(shù)中心吸引集成電路領(lǐng)域初創(chuàng)企業(yè)30余家，孵化出以叩持電子、啟明星半導(dǎo)體等為代表的一批集成電路領(lǐng)域優(yōu)秀創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)企業(yè)，預(yù)計今年服務(wù)企業(yè)營業(yè)收入超2億元，并將持續(xù)培養(yǎng)半導(dǎo)體領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新后備力量。

秦川機床（西安）技術(shù)研究院與陜西高端機床創(chuàng)新研究院在西咸新區(qū)共同出資組建陜西秦川高端齒輪裝備有限公司，以齒輪磨床性能提升為小切口，圍繞高端數(shù)控系統(tǒng)研發(fā)、伺服性能保障技術(shù)、高速高效加工工藝技術(shù)、數(shù)控機床正向設(shè)計技術(shù)和測試檢測技術(shù)等“卡脖子”技術(shù)領(lǐng)域開展專項攻關(guān)，形成“頂尖人才+優(yōu)勢資源”配置的技術(shù)攻關(guān)團隊。

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